Apical聚酰亞胺薄膜
Kanegafuchi公司以商標(biāo)名Apical'g佝市場(chǎng)推出了一系列的聚酰亞胺薄膜產(chǎn)品。這些產(chǎn)品都是在日本制造的，最近幾年已開(kāi)始在美國(guó)建立生產(chǎn)線，有關(guān)詳細(xì)資料可向Allied—Apical公司索取。
適用于微電子工業(yè)的Apical聚酰亞胺薄膜有AV型和NP型兩種。AV型與Kapton取的H(N)型和V(N)型具有相同的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
NP型和Kapton霉+K(N)型在化學(xué)結(jié)構(gòu)上很相似。但是，所用有機(jī)芳香族二胺ODA和PPD的克分子配比沒(méi)有公開(kāi)。據(jù)推測(cè)，NP型聚酰亞胺薄膜具有規(guī)整的化學(xué)結(jié)構(gòu)，類(lèi)似嵌段共聚物，但是，沒(méi)有公開(kāi)的文獻(xiàn)披露。兩者在結(jié)構(gòu)上的相似性使人們推測(cè)它們的性質(zhì)也相似，事實(shí)上也確實(shí)如此。
Upilex聚酰亞胺薄膜
日本東京的Ube工業(yè)公司推出了Upilex限系列聚酰亞胺薄膜材料。這些材料已經(jīng)在美國(guó)由Uniglobe Kisco公司實(shí)現(xiàn)了商業(yè)化。
適用于微電子工業(yè)的型號(hào)是Upilexg S型。它是由3，3’，4，4’一聯(lián)苯四酸二酐(BPDA)和對(duì)苯二胺(PPD)制備的。這類(lèi)材料具有剛硬的骨架結(jié)構(gòu)，因而表現(xiàn)出高的模量、低的TCE以及很小的吸水性，雖然將這類(lèi)薄膜在高溫下強(qiáng)堿水解可得到原材料有機(jī)芳香族四酸和有機(jī)芳香二胺。這類(lèi)材料可適用于不需刻蝕的各種應(yīng)用目的。