有機(jī)物是天然的絕緣材料,在普通的電氣絕緣方面等得到廣泛的應(yīng)用,典型的絕緣材料日常生活中處處可見,如塑料(聚乙烯、聚氯乙烯、尼龍等)橡膠等的電阻率很高;很多有機(jī)物、有機(jī)物的混合材料及添加無機(jī)納米材料的有機(jī)物都是很好的絕緣材料,為了實(shí)現(xiàn)不同功能的絕緣材料,人們在這些方面進(jìn)行了廣泛的研究。
醋酸乙烯樹脂通常用的有機(jī)場效應(yīng)管的柵介質(zhì)材料為聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA),然而由于它的低介電常數(shù)和薄膜制備上的問題,促使人們研究新的替代物。
醋酸乙烯樹脂(PVAc)是目前正在研究作為有機(jī)薄膜晶體管(OTFrs)的柵絕緣層,因?yàn)樗芡ㄟ^乙烯醇的水解,并且與無機(jī)材料粒子形成化合物,它的介電常數(shù)在3.2~9.3之間適合作為OTFr的絕緣層,韓國的Park等人通過旋涂的方法在鋁基上沉積了200 nm的PVAc薄膜,使用1%(質(zhì)量)的PVAc和0.01%(質(zhì)量)的有機(jī)粘土的氯仿溶液,他們得到添加了有機(jī)粘土的材料的介電常數(shù)為3.89,相對于沒有摻人有機(jī)粘土?xí)r的介電常數(shù)增加了0.45左右。
偏二氟乙烯和三氟胸苷的混合物(P(VDF—TrFE))具有較高的介電常數(shù)(11),它能增加OFETs的跨導(dǎo),從而降低工作電壓,在一定的厚度范圍內(nèi)(>1斗m)對晶體管沒有滯后效應(yīng),是作為OFET器件柵極的**候選材料之一。同時在當(dāng)材料的厚度<1 Ixm時,薄膜具有典型的鐵電介質(zhì)的極化滯后曲線,因此它同時又是作為有機(jī)存儲器電介質(zhì)可選材料。制備這種材料只需要傳統(tǒng)的旋涂設(shè)備就可以完成,不需其他輔助裝置。和其他功能薄膜一樣,絕緣薄膜有它自身的性質(zhì)及表征方法。
下面是對絕緣薄膜的一些主要性能表征方法的介紹。
(1)電擊穿強(qiáng)度。絕緣薄膜的擊穿一般分為瞬時電擊穿、熱擊穿和老化擊穿。在瞬時電擊穿中,又分為本征性擊穿和非本征性擊穿。前者是結(jié)構(gòu)完美的薄膜在電場瞬時作用下發(fā)生的電擊穿,后者是結(jié)構(gòu)中含有缺陷的薄膜在同樣條件下發(fā)生的擊穿。與此相對應(yīng)的擊穿場強(qiáng)稱為薄膜的本征性擊穿場強(qiáng)和非本征性擊穿場強(qiáng)。本征性擊穿場強(qiáng)是薄膜的固有擊穿場強(qiáng),取決于薄膜本身,非本征性擊穿場強(qiáng)取決于薄膜中的缺陷情況,不屬于薄膜的固有特性。
熱擊穿是由于電介質(zhì)中存在傳導(dǎo)電流和交變場下的位移電流所引起的發(fā)熱量來不及散失而使局部介質(zhì)溫度升高,直至喪失絕緣性能而遭到熱破壞。熱擊穿電場強(qiáng)度受環(huán)境溫度、散熱條件、樣品幾何形狀等外界因素影響很大,是非本征的。較為本征的擊穿是由固體中的傳導(dǎo)電子或傳導(dǎo)空穴在電場中的獲能速率以及它們與固體中的聲子或雜質(zhì)、缺陷的碰撞造成的失能速率的相互平衡所完全決定。只有在很嚴(yán)格的實(shí)驗(yàn)條件下才能測出表征薄膜本身特性的擊穿場強(qiáng)。
為了測得薄膜的實(shí)有擊穿場強(qiáng),現(xiàn)在常用樣品的結(jié)構(gòu)是MIS(金屬一絕緣層一半導(dǎo)體)型或MIM型微型電容器,基片多用單晶Si或GaAs,樣品的金屬電極多用Al,厚度為亞微米級。
介質(zhì)薄膜電擊穿場強(qiáng)的測試方法很多,其中最常用的是連續(xù)升壓擊穿(RVB)法,簡稱升壓法,有時也用步進(jìn)法。升壓法的優(yōu)點(diǎn)是簡單、明確,很快測得薄膜的瞬時擊穿場強(qiáng);缺點(diǎn)是不能揭示與擊穿緊密相關(guān)的薄膜的其他性能,也不能顯示出擊穿過程和擊穿機(jī)理。此外,該法對介質(zhì)薄膜中的偶然缺陷還不夠敏感。因此,又產(chǎn)生了不少其他的測試方法,如恒壓擊穿(CVB)法、恒流擊穿(CCB)法、電暈放電(CD)法、隨機(jī)噪聲信號(RTN)法等。
由于電擊穿場強(qiáng)屬于材料的強(qiáng)度參數(shù),所以具體數(shù)值分散性較大,因此給出的測試結(jié)果常為三種形式:一種是擊穿概率分布圖;另一種是擊穿積分概率曲線;第三種是給出擊穿場強(qiáng)數(shù)值范圍。在這三種形式中,實(shí)用意義較大的是擊穿積分概率曲線。因?yàn)樵撉€不但能反映樣品的質(zhì)量及其分散程度,進(jìn)而反映制造工藝水平和工藝穩(wěn)定性,還可以依此確定薄膜在實(shí)用時的有關(guān)電場強(qiáng)度,如工作場強(qiáng)、篩選場強(qiáng)等。否則,無法設(shè)計使用該種薄膜的有關(guān)器件和集成電路。此外,還可由此知道所用工藝水平及其穩(wěn)定程度。
絕緣薄膜的電阻率一般在108~1018 n·m之間。高絕緣材料加上直流電壓后,通過試樣的電流是很微小的,極易受到外界干擾的影響,造成較大的測試誤差。被測試樣、測試電極和測試系統(tǒng)均應(yīng)采取嚴(yán)格的屏蔽措施,并且需要考慮設(shè)備的可靠性問題,消除這些影響帶來的測試結(jié)果的偏差。
(2)環(huán)境溫、濕度。一般材料的電阻值隨環(huán)境溫、濕度的升高而減小。相對而言,表面電阻(率)對環(huán)境濕度比較敏感,而體電阻(率)則對溫度較為敏感。濕度增加,表面泄漏增大,體電導(dǎo)電流也會增加。溫度升高,載流子的運(yùn)動速率加快,介質(zhì)材料的吸收電流和電導(dǎo)電流會相應(yīng)增加。據(jù)有關(guān)資料報道,一般介質(zhì)在70℃時的電阻值僅為在20℃時的10%。因此,測量材料的電阻時,必須指明試樣與環(huán)境達(dá)到平衡的溫、濕度。
(3)測試電壓(電場強(qiáng)度)。介質(zhì)材料的電阻(率)值一般不能在很寬的電壓范圍內(nèi)保持不變,即歐姆定律對此并不適用。常溫條件下,在較低的電壓范圍內(nèi),電導(dǎo)電流隨外加電壓的增加而線性增加,材料的電阻值保持不變。超過一定電壓后,由于離子化運(yùn)動加劇,電導(dǎo)電流的增加遠(yuǎn)比測試電壓增加得快,材料呈現(xiàn)的電阻值迅速降低。由此可見,外加測試電壓越高,材料的電阻值越低,以致在不同電壓下測試得到的材料電阻值可能有較大的差別。值
得注意的是,導(dǎo)致材料電阻值變化的決定因素是測試時的電場強(qiáng)度,而不是測試電壓。對相同的測試電壓,若測試電極之間的距離不同,對材料電阻率的測試結(jié)果也將不同,正負(fù)電極之間的距離越小,測試值也越小。
(4)測試時間。用一定的直流電壓對被測材料加壓時,被測材料上的電流不是瞬時達(dá)到穩(wěn)定值的,而是有一衰減過程。在加壓的同時,流過較大的充電電流,接著是比較長時間緩慢減小的吸收電流,最后達(dá)到比較平穩(wěn)的電導(dǎo)電流。被測電阻值越高,達(dá)到平衡的時間則越長。因此,測量時為了正確讀取被測電阻值,應(yīng)在穩(wěn)定后讀取數(shù)值或取加壓1 min后的讀數(shù)值。
另外,高絕緣材料的電阻值還與其帶電的歷史有關(guān)。為準(zhǔn)確評價材料的靜電性能,在對材料進(jìn)行電阻(率)測試時,應(yīng)首先對其進(jìn)行消電處理,并靜置一定的時間,靜置時間可取5min,然后,再按測量程序測試。一般而言,對一種材料的測試,至少應(yīng)隨機(jī)抽取3~5個試樣進(jìn)行測試,以其平均值作為測試結(jié)果。
(5)測試設(shè)備的泄漏。在測試中,線路中絕緣電阻不高的連線,往往會不適當(dāng)?shù)嘏c被測試樣、取樣電阻等并聯(lián),對測量結(jié)果可能帶來較大的影響。因此,為減小測量誤差,應(yīng)采用保護(hù)技術(shù),在漏電流大的線路上安裝保護(hù)導(dǎo)體,以基本消除雜散電流對測試結(jié)果的影響。
(6)介電常數(shù)。MOS結(jié)構(gòu)電容一電壓特性(簡稱C—y特性)測量是檢測MOS器件制造工藝的重要手段。MOS電容它類似于金屬和介質(zhì)形成的平板電容器。但是,由于半導(dǎo)體中的電荷密度比金屬中的小得多,所以充電電荷在半導(dǎo)體表面形成的空間電荷區(qū)有一定的厚度(為微米量級),而不像金屬中那樣,只集中在一薄層中(為0.1 nm)內(nèi)。
半導(dǎo)體表面空間電荷區(qū)的厚度隨K而變化,所以MOS電容是微分電容。