PW-1500S型聚酰亞胺薄膜的制作過(guò)程如下：
（1） 先用丙酮對(duì)2英寸的BF33硼硅玻璃基底超聲清洗15 min，再用無(wú)水乙醇超聲清洗15 min，最后用去離子水
超聲清洗2次，每次10 min，清洗完后將其放在110 ℃的烘箱中烘30 min；
（2） 用勻膠機(jī)（KW-15，中國(guó)科學(xué)院微電子研究所）旋涂PW-1500S型聚酰亞胺前驅(qū)體，低速為300 r/min、時(shí)
間為10 s，高速為1 200 r/min、時(shí)間為40 s；
（3） 在熱板（AI-508T，中國(guó)電子科技集團(tuán)第十三研究所）上對(duì)薄膜進(jìn)行前烘，溫度為120 ℃，時(shí)間為3 min；
（4） 在高溫氮?dú)夂嫦洌?/span>SG-HX500，中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所）中對(duì)薄膜進(jìn)行固化，固化參數(shù)為：50 ℃、30 min，140 ℃、30 min，350 ℃、60 min，升溫速率為3.5 ℃/min，整個(gè)過(guò)程需要氮?dú)獗Ｗo(hù)，固化后隨爐冷卻。
FB-5410型和ZKPI-520型聚酰亞胺薄膜的制造過(guò)程與PW-1500S型聚酰亞胺薄膜的制作過(guò)程完全相同，只是聚酰亞胺前驅(qū)體的旋涂工藝參數(shù)和前烘工藝參數(shù)略有不同。
FB-5410 型聚酰亞胺前驅(qū)體的旋涂工藝參數(shù)為：低速為600 r/min、時(shí)間為9 s，高速為1 400r/min、時(shí)間為40 s；前烘工藝參數(shù)為：溫度為115 ℃、時(shí)間為3 min。ZKPI-520型聚酰亞胺前驅(qū)體的旋涂工藝參數(shù)為：低速為600 r/min、時(shí)間為9 s，高速為1 200 r/min、時(shí)間為40 s；前烘工藝參數(shù)為：溫度為110 ℃、時(shí)間為70 s。